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NanoSciences de Paris
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Exemples de réalisations

Voici quelques exemples d’échantillons réalisés à l’INSP grâce au matériel présent en salle blanche

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  • Fabrication de masques de photolithographie
    A l’aide de la technique de photolithographie à écriture directe par laser UV (DWL 66FS Heidelberg), des masques aux motifs variés peuvent être réalisés sur demande.
    Réalisation : Loïc Becerra, Mélanie Escudier
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  • Cristaux phononiques
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- La modulation à l’échelle de la centaine de microns des propriétés acoustiques, à l’origine de comportements orignaux, est obtenue par la gravure de trous dans une plaque de silicium.
Auteur du projet : Bernard Bonello
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- La modulation à l’échelle du micron des propriétés acoustiques est ici obtenue par la gravure de trous dans un substrat de silice.
Auteur du projet : Laurent Belliard
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  • Méta-matériaux optiques
    La structuration de couches minces permet d’obtenir de nouvelles propriétés physiques de matériaux en vue de leur utilisation en optique.
    Auteur du projet : Bruno Gallas
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  • Dépôt de multicouches
    Structuration d’un système de multicouches épais sous forme de plots (collaboration avec la centrale technologique Femto-ST de Besançon pour utilisation de la technique DRIE).
    Auteur du projet : Bernard Bonello
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  • Structuration d’une couche mince de GaMnAs pour obtention de pistes ou de plots magnétiques
    Ces structures permettent l’étude de la structure et de la dynamique des domaines magnétiques, ainsi que la manipulation ultra-rapide d’aimantation.
    Auteur du projet : Laura Thevenard
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  • Transducteurs acoustiques de surface
    Élaboration de dispositifs de type SAW (peignes inter-digités émetteur et récepteur) pour étude de film mince magnétique.
    Auteur du projet : Jean-Yves Duquesne
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  • Nanostructures isolées ou en interaction
    Le confinement des ondes acoustiques dans des systèmes nanostructurés permet de mettre en évidence une discrétisation du paysage vibrationnel.
    Auteur du projet : Laurent Belliard
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  • Capteurs
    Un système de contact en or est lithographié sur l’échantillon à étudier dans le but d’extraire par la méthode 3ω la conductivité des films sous-jacents.
    Auteur du projet : Jean-Yves Duquesne
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  • Diffuseurs acoustiques microniques isolés ou organisés
    Sous certaines conditions, des nano et microstructures isolées peuvent interagir avec des ondes de surfaces.
    Auteur du projet : Laurent Belliard
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  • Caractérisation de dépôts d’opales par MEB
    Auteur du projet : Agnès Maitre
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  • Systèmes auto-suspendus
    La réalisation de systèmes sans interaction avec le substrat est souvent un avantage dans l’étude de leurs propriétés intrinsèques.
    Auteur du projet : Laurent Belliard
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  • Réalisation d’électrodes
    Après avoir repéré à la surface du substrat (ici du graphène) l’échantillon à étudier, un système d’électrodes a été conçu afin de réaliser des mesures de transport.
    Auteur du projet : Abhay Shukla (IMPMC)
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  • Nanofils de cuivre auto-suspendus sur substrat silicium micro-structuré
    Par photolithographie et gravure humide KOH, un substrat de Si a été micro-structuré. Sur les tranchées réalisées, des nanofils de cuivre ont alors été dispersés afin de pouvoir étudier leurs propriétés vibrationnelles.
    Auteur du projet : Laurent Belliard
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  • Dispositif de mesures différentielles de la vitesse du son dans les liquides
    Afin de mesurer du son dans des systèmes liquides, des mesures différentielles s’avèrent très pertinentes. Dans le cas présent, des structures ont été gravées dans un substrat transparent.
    Auteurs du projet : Laurent Belliard, Fréderic Decremps (IMPMC)

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