La plateforme est composée de deux microscopes à force atomique. L’appareil multimode 8 de Bruker est dédié aux échantillons de taille inférieure à 10 mm, alors que l’appareil NX20 de Park system permet d’utiliser des échantillons de 150 mm. La taille maximale des images est de 100 um pour les deux appareils.
Cette plateforme de l’INSP est ouverte à la communauté.