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- Microscope électronique à balayage (Zeiss Supra 40)
Ce système permet l’observation à grande d’échelle (jusqu’à l’échelle du nanomètre) d’échantillons. Détecteurs disponibles : SE2 et SE IN-LENS.
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- Microscope optique (Olympus BX51)
Microscope avec objectifs interchangeables (x5, x10, x20, x50 et x100). Différentes solutions offertes pour éclairer l’échantillon et possibilité de travailler sous polariseurs croisés.
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- Profilomètre mécanique (Dektak 150 Veeco)
Permet de mesurer avec précision des marches, des rugosités moyennes ou encore de réaliser un mappage 3D de la surface d’un échantillon. Deux stylets de mesure sont disponibles (2,5 µm et 12,5 µm de rayon de courbure de la pointe).
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